Æ÷Ç׽ð¡ ¡®²ÞÀÇ ½Å¼ÒÀ硯·Î ºÒ¸®´Â ¡®±×·¡ÇÉ¡¯ »ê¾÷ À°¼º¿¡ ¼±µµÀûÀ¸·Î ³ª¼¸é¼ ö°¿¡ À̾î ÀÌÂ÷ÀüÁö¡¤¹ÙÀÌ¿ÀÇコ µî°ú ÇÔ²² ¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸® »ê¾÷ »ýÅ°谡 ´Ù¾çÇØÁö°í ÀÖ´Ù.
¡®±×·¡ÇÉ¡¯À̶õ È濬¿¡¼ ¹þ°Ü³½ ÇÑ °ãÀÇ Åº¼Ò ¿øÀÚ¸·À¸·Î °Ã¶ÀÇ 200¹è¿¡ À̸£´Â °µµ¿Í ³ôÀº ¿Àüµµ¼º, ¾ãÀº µÎ²²¿Í ź¼º µîÀÌ ¶Ù¾î³ª 4Â÷ »ê¾÷ Çõ¸íÀ» À̲ø ȹ±âÀûÀÎ ½Å¼ÒÀç·Î ºÒ¸°´Ù.
Æ÷Ç׽ô 31ÀÏ ½Ãû ´ëȸÀǽǿ¡¼ ±×·¡ÇɽºÄù¾î(ÁÖ), Æ÷½ºÄÚ, Æ÷½ºÅØ, Æ÷Ç×»ê¾÷°úÇבּ¸¿ø(RIST)°ú ÇÔ²² ²ÞÀÇ ½Å¼ÒÀç ¡®±×·¡ÇÉ'ÀÇ »ó¿ëÈ ¹× ±×·¡ÇÉ »ê¾÷ À°¼ºÀ» À§ÇÑ Àü·« ¾÷¹«Çù¾àÀ» ü°áÇß´Ù.
ÀÌ ÀÚ¸®¿¡´Â ÀÌ°´ö Æ÷Ç×½ÃÀå, Á¤ÇØÁ¾ Æ÷Ç×½ÃÀÇȸ ÀÇÀå, È«º´Èñ ±×·¡ÇɽºÄù¾î(ÁÖ) ´ëÇ¥ÀÌ»ç, ¹Ú¼ºÁø Æ÷½ºÄÚ »êÇп¬Çù·Â½ÇÀå, ¹ÚÁØ¿ø Æ÷½ºÅØ ºÎÃÑÀå, À¯¼º Æ÷Ç×»ê¾÷°úÇבּ¸¿øÀå, »êÇп¬ ±â°üÀå µîÀÌ Âü¼®ÇØ Æ÷½ºÆ® ö°À» ÀÕ´Â ¹Ì·¡¼±µµ ÇÙ½ÉÀü·«»ê¾÷ À°¼º ¹× Áö¿ª°æÁ¦ È°¼ºÈ¿¡ ´ëÇÑ Å« ±â´ë°¨À» º¸¿©Áá´Ù.
ÀÌ°´ö ½ÃÀåÀº ¡°Æ÷Ç×±×·¡Çɹ븮 Á¶¼ºÀ» À§ÇØ »ê¡¤ÇС¤¿¬¡¤°ü Çù·Âü°è ±¸ÃàÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ±×·¡ÇÉ ±Û·Î¹ú ¼±µµ±â¾÷ À°¼º, ±×·¡ÇÉ »ó¿ëÈ ºÎ¹®ÀÇ ±Û·Î¹ú ½ºÅÄ´Ùµå(±¹Á¦Ç¥Áر԰Ý, ±â¼ú µî) ¸¶·Ã, ±×·¡ÇÉ»ê¾÷ ¼±¼øȯÀû ¹ë·ùüÀÎÀ» Çü¼ºÇØ Ã¶°»ê¾÷¿¡ À̾î Æ÷Ç×ÀÇ Â÷¼¼´ë ¸Ô°Å¸®»ê¾÷À» À°¼ºÇÒ °èȹÀÌ´Ù¡±¶ó°í °Á¶Çß´Ù.
À̹ø Çù¾àÀ» ÅëÇØ ±×·¡ÇɽºÄù¾î(ÁÖ)´Â RIST¿¡ ±×·¡ÇÉ »ý»ê¶óÀÎ ±¸Ãà, ½ÃÁ¦Ç° »ý»ê¡¤Å×½ºÆ® ÈÄ ³»³â ÃʺÎÅÍ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÇöÀç Àü±âÂ÷ ¾ÕÀ¯¸®¿¡ ÀåÂøÇØ ±è ¼¸²°ú ¼º¿¡ µîÀ» ¹æÁöÇÏ´Â ±×·¡ÇÉ È÷Å͸¦ ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇßÀ¸¸ç, ³»³âºÎÅÍ Àü±âÂ÷ 3¸¸´ë ºÐ·®ÀÇ ±×·¡ÇÉÀ» ±Û·Î¹ú ÀÚµ¿Â÷¾÷ü¿¡ ³³Ç°ÇÒ °èȹÀÌ´Ù. À̸¦ À§ÇØ ¿À´Â 12¿ùºÎÅÍ 100¿© ¸íÀÇ ÀηÂÀ» ½Å±Ô ä¿ëÇÒ °èȹÀ¸·Î ¾çÁúÀÇ »õ·Î¿î ÀÏÀÚ¸® âÃâÀÌ ±â´ëµÈ´Ù.
¶ÇÇÑ, ³ª³ëÀ¶ÇÕ±â¼ú¿øÀÇ Å¬¸°·ë°ú ¹Ì¼¼°øÁ¤¶óÀÎÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¹ÝµµÃ¼¿ë ±ØÀڿܼ±(EUV) ÆÓ¸®Å¬(¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤ Áß À̹°Áú·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇØ ÁÖ´Â ¼ÒÀç) ¾ç»ê½Ã½ºÅÛ ±¸Ãà ¹× Ã·´Ü±â¼ú»ç¾÷ȼ¾ÅÍ¿¡ ¿¬±¸¼Òµµ ÀÔÁÖÇÒ °èȹÀ̸ç, ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â EUV ±¤¿øÀ» È°¿ëÇØ ÆÓ¸®Å¬ÀÇ ½Å·Ú¼ºµµ È®º¸ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
±×·¡ÇɽºÄù¾î(ÁÖ)´Â 2012³â¿¡ ¼³¸³µÅ °æ±âµµ ¼ö¿ø½Ã¿¡ º»»ç¸¦ µÎ°í CVD±×·¡ÇÉ Çʸ§, ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°, Â÷¼¼´ë ¹æźº¹¼ÒÀç µîÀ» ¿¬±¸°³¹ß¡¤»ý»êÇϴ ÷´Ü³ª³ë¼ÒÀç °ü·Ã ¾÷üÀÌ´Ù. È«º´Èñ ´ëÇ¥´Â ¼¿ï´ë ÈÇаú ±³¼ö·Î ¼¼°èÃÖÃÊ ´ë¸éÀû ±×·¡ÇÉ ÇÕ¼º¹ý Á¦½Ã, ´ë¸éÀû ±×·¡ÇÉÀÇ ¡®Roll to Roll¡¯ ¿¬¼ÓÇÕ¼º¹ý(½Å¹®À» Âï¾î³»µí ¿¬¼Ó»ý»ê¹æ½Ä)À» ÃÖÃÊ °³¹ßÇØ ±×µ¿¾È Ç®Áö ¸øÇÑ ¾çÁúÀÇ ±×·¡ÇÉ ´ë·®»ý»êÀÇ ±æÀ» ¿¾ú´Ù.
÷´Ü ³ª³ë¼ÒÀç·Î °µµ¡¤Åº¼ºµµ¡¤¿Àüµµ¼º µîÀÌ ¿ì¼öÇÑ ±×·¡ÇÉÀÇ ´ë·®»ý»êÀÌ °¡´ÉÇØÁö¸é ½Ç¸®ÄÜÀÌ Ã³À½ ³ª¿ÔÀ» ¶§ »ê¾÷¿¡ Çõ¸íÀ» ÀÏÀ¸Å² °Íó·³ ´Ù¾çÇÑ »ýÈ° ¼ÒÀç°¡ ±Þº¯ÇØ »õ·Î¿î Æз¯´ÙÀÓÀ» ¸ÂÀÌÇÏ°í, Æ÷Ç×À» Áß½ÉÀ¸·Î Çù¾à±â°üµéÀÌ ±× È帧À» ¼±µµÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
Æ÷Ç×Àº ¿¡ÄÚÇÁ·Î, Æ÷½ºÄÚÄɹÌÄ®, GS°Ç¼³ µî ÀÌÂ÷ÀüÁö ÀüÈÄ¹æ »ê¾÷±ºÀÌ Çü¼ºµÅ ÀÌÂ÷ÀüÁö »ê¾÷»ýÅ°è ÁÖµµ±ÇÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò, ³ª³ëÀ¶ÇÕ±â¼ú¿ø, RIST, Æ÷½ºÅØ µî ¶Ù¾î³ ¿¬±¸ÁøÀ» °®Ãá R&D±â°üÀÌ ¹ÐÁýÇØ ÀÖ¾î ¹Ì·¡Àü·«»ê¾÷¿¡µµ À¯¸®ÇÑ °íÁö¸¦ ¼±Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ, ¹ÙÀÌ¿À ¿ÀÇÂÀ̳뺣À̼Ǽ¾ÅÍ, ¼¼Æ÷¸·´Ü¹éÁú¿¬±¸¼Ò, ±×¸°¹é½Å½ÇÁõÁö¿ø¼¾ÅÍ µî ¹ÙÀÌ¿ÀÀÎÇÁ¶óÀÇ ÁýÀûÈ·Î ±×·¡ÇÉ»ê¾÷ ÃÖ°íÀÇ ÀÔÁöÀÌÀÚ °æÀï·ÂÀ» °®Ãá Áö¿ªÀÌ´Ù.
¡®±×·¡ÇÉ(Graphene)¡¯À̶õ ź¼Ò(Carbon)¿øÀÚµéÀÌ ¹úÁý¸ð¾çÀ¸·Î ¿¬°áµÅ ´ÜÃþÀÇ Æò¸éÀ» ÀÌ·ç°í Àִ ÷´Ü ³ª³ë¼ÒÀç·Î °Ã¶º¸´Ù 200¹è ÀÌ»ó °ÇÏ°í ½Ç¸®ÄÜ, ±¸¸®º¸´Ù ÀüÀÚÀ̵¿ ¼Óµµ°¡ 100¹è ÀÌ»ó ºü¸£´Ù. ¶ÇÇÑ ´ÙÀ̾Ƹóµåº¸´Ù ¿ Àüµµ¼ºÀÌ 2¹è ÀÌ»ó ³ô°í µÎ²²´Â 0.2nm·Î Á¾À̺¸´Ù 100¸¸¹è ¾ãÀ¸¸é¼ ź¼ºµµ°¡ ¶Ù¾î³ª´Ù.
±×·¡ÇÉ °ü·Ã ¿¬±¸°¡ 2010³â ³ëº§¹°¸®ÇлóÀ» ¼ö»óÇÏ¸é¼ Å« ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ¾ÒÀ¸¸ç, ź¼Ò´Â ÀÚ¿¬¿¡ 4¹ø°·Î ¸¹ÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â ºñ±Ý¼Ó¿ø¼ÒÀÌÀÚ ¿¬ÇʽÉÀÇ È濬 µî¿¡¼ ÈçÈ÷ º¼ ¼ö Àִ dzºÎÇÑ ¿ø·á·Î °æÁ¦¼º°ú ÇÔ²² °µµ, ¿ÀüµµÀ² µî ¿©·¯ Ư¼ºÀÌ ÇöÁ¸ ¹°Áú Áß °¡Àå ¶Ù¾î³ ½Å¹°ÁúÀÌ´Ù. ±×·¡ÇÉÀº ±âÁ¸ÀÇ Àüµµ¼º ¼ÒÀç¿Í Çʸ§Àç µîÀ» ´ëüÇÏ°í °¡º±°í ³»±¸¼ºÀÌ °ÇØ ºñÇà±â³ª ÀÚµ¿Â÷ µî¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç ƯÈ÷ Ç÷º¼ºí µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÀÌÂ÷ÀüÁö, ¹ÝµµÃ¼, °íÈ¿À² žçÀüÁö µî ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷¿¡ ÀÀ¿ëµÅ °ü·Ã »ê¾÷ ¼ºÀåÀ» °ßÀÎÇÒ Àü·«Àû ÇٽɼÒÀç·Î °¢±¤¹Þ°í ÀÖ´Ù.
ÃÖ±Ù¿¡´Â ³ª³ë±¸Á¶Ã¼ µîÀ» È°¿ëÇÏ´Â ¾à¹°Àü´Þ±â¼úÀÌ ³¯·Î º¹ÀâÇÏ°í Á¤±³ÇØÁö´Â Ãß¼¼·Î ±×·¡ÇÉ ¾çÀÚÁ¡ µî »õ·Î¿î ±â´É¼º ³ª³ë¼ÒÀ縦 ÀÌ¿ëÇÑ ³Ä¡º´ Ä¡·áÁ¦ °³¹ß ¶ÇÇÑ È°¹ßÈ÷ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ°´ö ½ÃÀåÀº ¡°´õ ³ª¾Æ°¡ ³ª³ë±¸Á¶Ã¼(±×·¡ÇɾçÀÚÁ¡) µîÀ» È°¿ëÇÑ ¾à¹°Àü´Þ±â¹Ý °³·® ½Å¾à ½ÃÁ¦Ç° Á¦Á¶¼³ºñÀÇ ÁýÀûÈ¿Í ³ª³ë À¶º¹ÇÕÀ» ÅëÇØ Çõ½ÅÀÌ °¡¼Óȵǰí ÀÖ´Â ¹ÙÀÌ¿À»ê¾÷µµ ¼±µµÇØ ³ª°¡°Ú´Ù¡±¸ç, ¡°Æ÷Ç× ½Å¼ÒÀç»ê¾÷ÀÇ ¸¶Áß¹° ¿ªÇÒÀ» ÇØÁֽŠ±×·¡ÇɽºÄù¾î¿¡ °¨»çµå¸®¸ç Æ÷½ºÄÚ, Æ÷½ºÅØ, RIST¿Í ÇÔ²² ¼ºÀå Áö¿ø¿¡ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù¡±¶ó°í ¸»Çß´Ù.
±â»çµî·Ï : °æºÏ¿¬ÇÕ¹æ¼Û / gumisun@daum.net
# [°æºÏ¿¬ÇÕ¹æ¼Û]ÀÇ »çÁø°ú ±â»ç¸¦ ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷½Ã ÀúÀ۱ǷḦ û±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.