ð ż硯 Ҹ ɡ 鼭 ö ̾ ̿コ Բ ̷ Ÿ °谡 پ ִ.
ɡ̶ 濬 ܳ ź ڸ ö 200迡 ̸ , β ź پ 4 ̲ ȹ ż Ҹ.
ô 31 û ȸǽǿ ɽ(), , , п(RIST) Բ ż ' ȭ üߴ.
ڸ ̰ , ȸ , ȫ ɽ() ǥ̻, ڼ п½, ؿ , п, п Ʈ ö մ ̷ ٽ Ȱȭ ū 밨 .
̰ ױɹ븮 ꡤС ü ۷ι , ȭ ι ۷ι Ĵٵ(ǥر, ) , ɻ ȯ ü ö ̾ Ÿ ȹ̴١ ߴ.
̹ ɽ() RIST , ǰ ꡤƮ ʺ ̴. ϴ ʷ , 3 з ۷ι ڵü ǰ ȹ̴. ̸ 12 100 η ű ä ȹ ο ڸ â ȴ.
, ձ Ŭ ̼ ̿ ݵü ڿܼ(EUV) ӸŬ(ݵü ̹κ ȣ ִ ) ý ÷ܱȭͿ ҵ ȹ̸, 籤ӱ EUV Ȱ ӸŬ ŷڼ Ȯ ȹ̴.
ɽ() 2012 ÿ 縦 ΰ CVD ʸ, ݵü ǰ, ź ߡϴ ÷ܳ ü̴. ȫ ǥ ȭа ռ , Roll to Roll ռ(Ź ӻ) Ǯ 뷮 .
÷ ź 뷮 Ǹ ó Ų ó پ Ȱ 簡 ο з ϰ, ߽ 帧 ȴ.
, ɹĮ, GSǼ Ĺ ° ֵ Ȯϰ , װӱ, ձ, RIST, پ R&D ־ ̷ ϰ ִ. , ̿ ̳뺣̼Ǽ, ܹ, Ž ̿ ȭ ɻ ְ ̴.
(Graphene)̶ ź(Carbon)ڵ ̷ ִ ÷ ö 200 ̻ ϰ Ǹ, ̵ ӵ 100 ̻ . ̾Ƹ庸 2 ̻ β 0.2nm ̺ 100 鼭 ź پ.
2010 뺧л ϸ鼭 ū ָ , źҴ ڿ 4° ϴ ݼӿ ʽ 濬 ִ dz Բ , Ư پ Ź̴. ʸ üϰ ⳪ ڵ Ǹ Ư ÷ ÷, , ݵü, ȿ ¾ پ ٽɼ ް ִ.
ֱٿ 뱸ü Ȱϴ ޱ ϰ ο ɼ 縦 ̿ ġ ġ Ȱ ̷ ִ.
̰ ư 뱸ü(ɾ) Ȱ ޱ ž ǰ ȭ ȭǰ ִ ̿ ڴ١, ż ߹ ֽ ɽ 帮 , , RIST Բ ּ ϰڴ١ ߴ.
: Ͽչ / gumisun@daum.net
# [Ͽչ] 縦 ۱ǷḦ û ֽϴ.